市科創(chuàng)委關(guān)于2021年集成電路專項(xiàng)資助計(jì)劃項(xiàng)目申請指南
一、申請內(nèi)容 (一)對集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)流片支持 1.多項(xiàng)目晶圓直接流片資助; 2.首次完成全掩膜工程產(chǎn)品流片資...
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